15.2 超高真空隔離閘閥系列旨在用于需要低顆粒產(chǎn)生量和低沖擊敏感性的應(yīng)用。這些閥門可用于各種壓力水平（最高為超高真空 < 10-10 mbar）下的真空隔離。

該系列的所有閥門均采用 MONOVAT 技術(shù)。該技術(shù)能提供可靠的閘門密封，同時不會產(chǎn)生任何摩擦，并且還會產(chǎn)生降低顆粒的風(fēng)險(xiǎn)。MONOVAT 技術(shù)的關(guān)鍵特點(diǎn)之一是經(jīng)硫化處理的閘封。這是一種高度可靠且更持久的密封解決方案。另一個優(yōu)勢是其在低顆粒產(chǎn)生量和釋氣性方面的優(yōu)異性能。

此外，MONOVAT 技術(shù)的特殊軟關(guān)閉機(jī)制（不含任何潤滑劑）可最大限度地減少對安裝閥門的系 統(tǒng)的機(jī)械沖擊影響。在傳統(tǒng)的閥門解決方案中，快速移動的閥板接觸閥體會引起機(jī)械沖擊。15.2 超高真空隔離閘閥系列已安裝在數(shù)千個要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其在各種工藝條件下的可靠性。

堅(jiān)固的分體式設(shè)計(jì)減少了工作量并簡化了維護(hù)。該系列可輕松滿足從標(biāo)準(zhǔn)真空到超高真空的所有真空隔離要求。

法蘭連接、密封件材質(zhì)或額外真空端口的各種設(shè)計(jì)選項(xiàng)使其易于集成到任何應(yīng)用中。

15.2 超高真空隔離閘閥可搭配氣動驅(qū)動器和電磁閥使用；作為設(shè)備上解決方案或用于外部安裝均可。電磁閥的標(biāo)準(zhǔn)電壓為 24 VDC，但可根據(jù)要求提供其他電壓。閥門位置由最高可烘烤至 140℃ 的機(jī)械或電氣位置指示器指示。

法蘭連接 ISO-F、CF-F (15.2)、ASA-LP 和 JIS為標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng)，還可提供客戶指定法蘭?？杉?nbsp;定制功能，例如特殊的帶窗閘門和帶箔閥板，或額外的真空端口。

這些閥門配有氟橡膠密封。可根據(jù)要求使用其他密封件材質(zhì)。

特點(diǎn):

優(yōu)勢: