61.6 HV控制蝶閥提供出色的壓力控制和隔離性能。憑借其快速而精確的動作控制器（0.45秒），它是CVD工藝中精細(xì)控制和隔離的解決方案。蝶板作為一個節(jié)流元件，改變了閥口的傳導(dǎo)性。61.6的集成壓力控制器計(jì)算出所需的板塊位置，以盡可能快地達(dá)到設(shè)定的壓力。

61.6系列的隔離功能是專門為避免蝶閥的較高的密封磨損而設(shè)計(jì)的。通過它的中心外板軸以及閥體和密封座的特殊幾何形狀，密封摩擦降到低，密封性能得到提高。

61.6系列已經(jīng)安裝在數(shù)以千計(jì)的各種工藝條件下的苛刻應(yīng)用中，已經(jīng)證明了其出色的可靠性。61.6系列具有堅(jiān)固的設(shè)計(jì)和直接安裝選項(xiàng)，以及減少和方便的維護(hù)，在所有方面都表現(xiàn)優(yōu)異。

本體材料、表面處理、彈性體、法蘭連接、密封材料、特殊尺寸以及特殊控制算法（自適應(yīng)、固定PI下流/軟泵）方面的各種設(shè)計(jì)選項(xiàng)簡化了61.6系列與各種真空應(yīng)用的整合。